工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气: N2、H2、He、Ar、O2 ; 组分气: PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99. 9999%,在净化器的出口设有在线H2O、O2 检测仪表,六安气体,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于剧i毒或有毒化学品,吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气,化学法虽然能够通过反应进行中和,但由于涉及水溶液,因此,液态气体,该法不是推荐方法,我们通常采用催化分解或燃烧的方法,可有效解决除AsH3 以外的有毒气体,AsH3 处理只是由气态有毒物变为固态而已。
工业
具有广泛的用途。例如,用它来充灌气球;在氧气中燃烧放出大量的热,其火焰——氧焰的温度达3000℃,可用来焊接或切割金属。液态可作火箭或导i弹的高能燃料。
与空气混合能形成爆i炸性混合物,气体公司,遇热或明火即爆i炸。气体比空气轻,在室内使用和储存时,漏气上升滞留屋顶不易排出,遇火星会引起爆i炸。与氟、氯等卤素会剧烈反应。