工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气: N2、H2、He、Ar、O2 ; 组分气: PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99. 9999%,在净化器的出口设有在线H2O、O2 检测仪表,高纯标准气体,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于剧i毒或有毒化学品,吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气,化学法虽然能够通过反应进行中和,但由于涉及水溶液,因此,该法不是推荐方法,我们通常采用催化分解或燃烧的方法,可有效解决除AsH3 以外的有毒气体,AsH3 处理只是由气态有毒物变为固态而已。
工业气体安全使用基本知识
1、气瓶安全附件完好齐全(包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞),胶皮软管必须完好无老化破损情况,与气瓶接口处应用卡子固定,气体,以防滑脱。
2、氧气、乙i炔不能混合存放(二者应隔开或隔离放置,隔开距离2米以上),使用时距离5米以上,气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方(距离15米以上),放置场所应阴凉通风,并有防倾倒措施。
3、工业气瓶在搬运过程中,严禁在地上滚动,应用手旋转平移。装车时,合肥气体,气瓶应该方向一致,捆扎牢固。运输必须用危化**车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。
4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时,应用不燃物体遮盖,天然气体,高温天气不能在阳光下长时间曝晒,气瓶使用完毕后,须拆下减压阀、胶皮软管等设施,并戴上安全帽。